Bac quartz standard pour process chimique en bain

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Quartz pour bain semi conducteur et laboratoire de recherche

Nos bacs quartz standard sont disponibles pour effectuer différents process chimiques sur des substrats de différentes tailles et de différents matériaux, comme par exemple le silicium, l'Aga, le germanium, le verre optique, la céramique.
La dimension de nos bacs a été étudiée en fonction des (carriers) paniers utilisés dans le semi-conducteur ou le photovoltaïque en vue d'effectuer un process chimique sur les tranches de silicium.
Les tranches de silicium peuvent être :

• 4" (100 mm)
• 6" (150 mm)
• 8" (200 mm)

Chaque bac contient au moins un panier de 25 plaques de silicium et sa poignée de transport.
Les dimensions intérieures standards des bacs sont prévues pour un panier avec sa poignée ou deux paniers avec leurs poignées pour certains.
Les bacs sont rigidifiés avec une flange (un cadre quartz) sur sa partie supérieur, d'une dimension de 25 à 30 mm en extérieur un rebord retombant de 10 mm.
L'évacuation des liquides sera possible grâce à un piquage de dimension 1/2" fileté en son bout adapté aux raccords de type flare compatible (intégrais, furon, galtek, gemü)
Longueur du piquage 65 mm.

Dimension standards des bacs :

• Un panier de 25 plaques SI en 4" : 180 x 160 x HT 160 mm ; référence IQ14
• Un panier de 25 plaques SI en 6" : 200 x 200 x HT 250 mm ; référence IQ16
• Un panier de 25 plaques SI en 8" : 300 x 300 x HT 300 mm ; référence IQ18

• Deux paniers de 25 plaques SI en 4" : 290 x 180 x HT 160 mm ; référence IQ24
• Deux paniers de 25 plaques SI en 6" : 400 x 200 x HT 250 mm ; référence IQ26